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弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設(shè)備
點(diǎn)擊次數(shù):1379 更新時(shí)間:2021-05-12

弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設(shè)備

對(duì)高通量要求的PV工廠中多晶和類(lèi)單晶錠進(jìn)行電學(xué)參數(shù)測(cè)試表征,在1mm分辨率下的總測(cè)量時(shí)間少于一分鐘。

產(chǎn)品特點(diǎn)
檢測(cè)符合半導(dǎo)體標(biāo)準(zhǔn)SEMI PV9-1110
對(duì)半導(dǎo)體材料電學(xué)參數(shù)進(jìn)行非接觸和非破壞性測(cè)試
對(duì)少子壽命參數(shù)可做面掃描測(cè)試
對(duì)不可見(jiàn)缺陷的可視化測(cè)試具有很高靈敏度
對(duì)鐵濃度分布做面掃描自動(dòng)設(shè)置硅錠切割標(biāo)準(zhǔn)
對(duì)硅錠少子壽命的穩(wěn)態(tài)測(cè)試,可硅錠的性能
自動(dòng)化的集成設(shè)計(jì)低成本測(cè)試
對(duì)光伏級(jí)別的硅錠進(jìn)行2D成像掃描測(cè)試,
對(duì)一個(gè)硅錠,可在一分鐘內(nèi)完成分辨率低于1mm的成像測(cè)試

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)

MDPinline ingot對(duì)有高通量要求PV工廠里的多晶硅錠電學(xué)參數(shù),具備在線測(cè)試速度:在1分鐘內(nèi)可完成分辨率大于1mm的成像掃描測(cè)試,同時(shí)可完成電導(dǎo)類(lèi)型轉(zhuǎn)變的空間分布掃描和電阻率的線掃描測(cè)試。客戶(hù)制定的硅錠切割標(biāo)準(zhǔn),可通過(guò)數(shù)據(jù)中心,對(duì)下一代PV工廠的材料制備進(jìn)行全自動(dòng)監(jiān)控,完成對(duì)材料生長(zhǎng)質(zhì)量控制,坩堝狀況監(jiān)控,以及各種失效分析。通過(guò)的“underneath thesurface”測(cè)試技術(shù),可減少由表面復(fù)合引起的數(shù)據(jù)失真情況出現(xiàn)。

弗萊貝格MDPinline ingot在線硅錠成像設(shè)備

MDPinline ingot系統(tǒng)是范圍內(nèi)的測(cè)量工具,可用于對(duì)多晶硅和類(lèi)單晶硅錠進(jìn)
行電學(xué)表征。專(zhuān)為高通量工廠中的單個(gè)晶錠測(cè)試而開(kāi)發(fā),每個(gè)晶錠都可在1分鐘內(nèi)完成所有面的電學(xué)
參數(shù)表征測(cè)試參數(shù)包括1mm分辨率的少子壽命面掃描分布,電導(dǎo)類(lèi)型分布圖,以及電阻率線掃描分布圖。

該系統(tǒng)包括數(shù)據(jù)處理,傳輸和存儲(chǔ),以及評(píng)估系統(tǒng)。提供全自動(dòng)的硅錠切割位置,用于產(chǎn)能,材料質(zhì)量監(jiān)控,坩堝選擇和工藝優(yōu)化等。

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